其工作原理的核心是通過彈性隔膜的往復運動，改變泵腔容積，從而吸入和排出氣體，整個過程無油。

主要組成部分

為了實現上述工作原理，KNF隔膜泵主要由以下幾個精密部分協同工作：

1. 動力與傳動系統

• 電機：提供原始動力。通常是經過精心設計的交流或直流電機，具有高效率、低噪音和長壽命的特點。電機是密封的，與泵頭隔離，防止氣體腐蝕電機繞組。

• 曲軸連桿機構：位于電機和泵頭之間的連接腔內。其作用是將電機的旋轉運動轉換成直線的往復運動。這是整個泵的“機械心臟"。

2. 泵頭與氣路系統（核心工作區）

這是直接處理氣體的部分，通常由高度耐化學腐蝕的材料制成（如PPS、PTFE等）。

• 隔膜：這是最關鍵的核心部件。它是一個柔性的、耐腐蝕的圓片（通常由PTFE涂層或復合材質制成），被緊密地固定在泵頭上。電機的往復運動通過連桿推動它來回彎曲變形，就像活塞一樣，但因為它與氣體接觸的一面是密封的，所以實現了100%無油潤滑。

• 泵腔：由泵蓋和隔膜圍成的空間。其容積隨著隔膜的往復運動而周期性變化。

• 進氣閥和排氣閥：通常是片狀或球狀的止回閥。它們根據泵腔內的壓力差自動開啟和關閉，嚴格控制氣體單向流動（從進氣口進入，從排氣口排出）。閥門材料也需具備優異的抗化學腐蝕性（如FFPM、PTFE等）。

3. 輔助與控制系統

• 散熱系統：泵體通常設計有散熱鰭片，以確保電機和泵頭在長時間運行下不會過熱。

• 調速控制器（可選）：對于像N 920 G這樣的型號，可以配備外接的調速控制器。通過改變輸入電機的電壓或頻率來調節電機的轉速，從而精確控制泵的抽速和流量，適應不同的應用需求。

• 氣鎮閥（可選）：這是一個非常重要的功能部件。它允許在壓縮沖程開始時，向泵腔內注入少量干燥的空氣（“氣鎮"），這可以降低可凝性蒸汽（如溶劑、水汽）在泵腔內凝結的可能性，防止泵液乳化或內部腐蝕，對于抽除溶劑蒸汽至關重要。

4. 外殼與結構件

• 外殼：容納所有內部組件，提供結構支撐和保護，通常也設計有減震和降噪的功能。

總結與核心優勢

通過以上組成部分的協同工作，KNF隔膜真空泵實現了其的工作方式，并帶來了以下核心優勢：

1. 絕對無油：由于隔膜將動力系統與氣體隔離，真空側沒有任何潤滑油，保證了抽取氣體的純凈度，不會產生油蒸汽污染。

2. 優異的抗化學腐蝕性：所有與氣體接觸的部件（泵頭、隔膜、閥門）均采用高性能的化學惰性材料制造，能夠安全處理腐蝕性氣體和溶劑。

3. 低維護：無需更換泵油，主要維護工作僅限于長期使用后更換隔膜和閥門等易損件（通常壽命很長）。

4. 清潔、安靜：無油設計避免了油污問題，且運行噪音相對較低。