在半導體制造、真空工藝等工業領域，精確的壓力測量直接關系到產品質量與工藝穩定性，HORIBA堀場的電容式壓力計正是為此而生的精密測量利器。

在現代工業生產和科研實驗中，精確的壓力測量對工藝控制、質量保障和安全運行至關重要。日本HORIBA堀場作為的分析測量儀器制造商，其電容式壓力計系列產品憑借的精度、穩定性及耐腐蝕性，成為半導體、電子制造、化工等領域的關鍵測量工具。

01 核心工作原理：電容變化的精密測量

HORIBA電容式壓力計基于電容變化原理進行壓力測量。其核心是一個由金屬膜片組成的電容器結構，當膜片兩側存在壓力差時，膜片會發生形變，從而改變兩個電極之間的電容量。

根據平行板電容器的基本公式 C=εA/d（其中C為電容量，ε為介電常數，A為極板相對面積，d為極板間距），改變極板間距d會引起電容量的變化。

HORIBA采用創新的電極結構和微型自加熱設計，使這種原理轉化為高精度的實際測量能力。

通過測量電容量的變化，儀器可以精確計算出被測壓力值，并將物理壓力參數轉換為標準電信號輸出，通常為4-20mA模擬信號或數字信號。

這種基于電容變化的測量原理，賦予了HORIBA壓力計的精度和出色的長期穩定性，使其能夠在苛刻的工業環境中保持可靠的測量性能。

02 產品系列與主要型號

HORIBA堀場提供了多種型號的電容式壓力計，以滿足不同應用場景的需求。

VG-200S絕對壓力計是HORIBA STEC系列中的代表產品，采用模擬顯示設計，壓力測量范圍0-1.33 bar，工藝溫度最高可達100°C。

該型號采用SUS316L隔膜材質，提供了溫度控制（55°C或100°C）和非加熱型兩種選擇，適用于對穩定性要求高的真空工藝環境。

VG-221S電容式壓力計同樣是一款高性能產品，以其高精度和優異的氣體依賴性著稱。

它采用一鍵調零設計，操作簡便，電源要求為+/-15VDC或24VDC，符合CE和RoHS標準，體現了HORIBA產品在安全性和環保方面的承諾。

VG-521電容壓力隔膜真空表則配備了PI功能和最新算法，即使面對快速的壓力波動也能實現穩定的流量控制。

其多量程/多氣體功能允許用戶更改氣體類型和滿量程流量，并在1秒內完成全量程快速響應，大大提高了工藝流程的靈活性和效率。

03 技術特點與性能優勢

HORIBA電容式壓力計融合了多項先進技術，形成了其顯著的產品優勢。

高精度與穩定性

HORIBA電容式壓力計具有的測量精度，其壓力輸出對氣體種類的依賴性較小。

采用創新的電極結構和微型自加熱設計，確保了產品在長期使用中保持高性能和高穩定性。這種穩定性在連續運行的工業環境中尤為重要，可大幅降低維護成本和停機時間。

優異的耐腐蝕性

采用SUS316L不銹鋼隔膜等優質材料，使HORIBA壓力計能夠適應各種腐蝕性氣體環境。

在半導體工藝中，經常會使用到腐蝕性氣體，這一特性顯著延長了儀表的使用壽命，提高了在惡劣環境下的可靠性。

靈活的溫度控制

HORIBA電容式壓力計提供溫度控制版本（55°C或100°C）或非加熱型選擇。

這一特點使用戶能夠根據具體應用場景選擇適合的型號，在需要精確溫度控制的工藝中保持測量的穩定性。

緊湊設計與便捷操作

HORIBA壓力計采用緊湊型設計，如VG-521型號的尺寸僅為其他公司產品的1/20，傳感器截面尺寸僅5厘米，非常適合整合到設備中。

一鍵調零功能簡化了操作流程，降低了使用門檻。

04 主要應用領域

HORIBA電容式壓力計憑借其性能，在多個高科技產業中發揮著關鍵作用。

半導體制造業

在半導體制造領域，絕對壓力測量對各種真空工藝至關重要。

HORIBA電容式壓力計用于刻蝕、CVD、PVD等關鍵工藝環節，確保真空環境的壓力穩定，直接影響芯片生產的良率和性能。

平板顯示（FPD）與硬盤（HDD）制造

在FPD和HDD制造過程中，需要精確的真空壓力控制以確保產品質量。

HORIBA壓力計能夠在這些行業的真空工藝中提供可靠的壓力數據，保障大規模生產的穩定性。

光伏（PV）與涂層行業

太陽能電池制造和精密涂層工藝對壓力測量同樣有嚴格要求。

HORIBA壓力計的高精度特性滿足了這些行業對工藝控制的高標準要求，有助于提高能源轉換效率和涂層均勻性。

化工與電子行業

在化工過程和電子元件制造中，HORIBA壓力計廣泛應用于真空爐、分析儀器等設備。

其耐腐蝕性和多氣體兼容性使它們能夠適應復雜的工業環境。

05 電容式壓力計的操作與調校

正確操作和定期調校是確保電容式壓力計長期穩定運行的關鍵。

基本操作原理

電容式壓力計通常采用二線制連接，供電電壓為24VDC，輸出4-20mA的標準信號。

這種標準化設計使它們能夠輕松集成到各種工業控制系統中，與指示報警儀、記錄儀、調節器等二次儀表配合使用。

調校方法

電容式壓力計的調校主要包括零點調整和量程調整。

在調校前，通常需要先將阻尼電位器反時針調到極限位置，即關掉阻尼作用。

零點調整是在輸入差壓為0時，調整變送器輸出為4mA；量程調整則是加入相當于滿度輸出的差壓信號，調節量程電位器，使變送器輸出為20mA。

需要注意的是，儀表的零點調整和量程調整會相互影響，因此在調校時必須反復調整零點和滿度，才能使儀表滿足精度要求。

遷移功能

HORIBA電容式壓力計支持零點遷移功能，可根據實際應用需要進行正遷移或負遷移。

這一功能使壓力計能夠適應不同的測量范圍，提高在特定工況下的測量精度和靈敏度。

從半導體芯片的真空蝕刻車間到太陽能電池的涂層生產線，HORIBA堀場的電容式壓力計以其的精度、穩定的性能和的耐用性，成為工業制造領域中的關鍵測量設備。

隨著工業技術不斷發展，對精密測量的要求將愈發嚴格，HORIBA電容式壓力計將繼續在全球工業進程中發揮著精準感知與可靠控制的重要作用。