HORIBA堀場新概念壓力不敏感質量流量模塊

HORIBA堀場新概念壓力不敏感質量流量模塊

SEC-Z700S 系列

新概念壓力不敏感質量流量模塊

SEC-Z700S 系列配備了新開發的熱傳感器和壓力不敏感功能，可實現穩定的流量控制。機載壓力測量降低了氣體輸送系統的成本、尺寸和復雜性。

新的高性能功能提供了簡化的供氣系統。典型的多室氣體管路具有管路調節器、壓力傳感器和過濾器，以避免由壓力波動引起的質量流量控制器串擾現象。

SEC-Z700S 系列具有高穩定性，可在不影響上游和下游壓力波動的情況下控制氣體流量。提供流量輸出、溫度和壓力讀數。

基本功能

• 多氣體/多量程功能。氣體類型和滿量程流量可由客戶更改

• 穩定控制氣體流量，不受上游和下游壓力波動的影響

• 板載多顯示器

• 超潔凈設計 - 金屬隔膜、全不銹鋼 SUS-316L 和拋光表面處理（標準）

• 尺寸緊湊 接頭尺寸相同，最大 50 SLM

• 信號兼容性：EtherCAT、DeviceNet 模型

主要特點

• 保修 1% 設定點高精度（流量 ≥5%）

• 高重復性 （≤±0.15% 設定點/流速 ≥5%）

• 寬范圍控制（0.5-100% 滿量程）

• 可調響應 （300ms≦t≦1000ms）

• 高工作溫度 （15-60°C）

• 低閥座泄漏性能 （≤0.1% 滿量程/Bin#01-#06）

• 高耐腐蝕性設計