HOBIBA堀場CS-620F原裝光纖式熱磷酸濃度監測儀
HOBIBA堀場原裝光纖式熱磷酸濃度監測儀

產品型號：CS-620F
廠商性質：代理商
更新時間：2025-10-14
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HORIBA堀場

ph計電導率儀監測儀電極濃度監測儀蒸發器電阻率計水質檢查器晶圓背面冷卻系統

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HOBIBA堀場原裝光纖式熱磷酸濃度監測儀

光纖式熱磷酸濃度監測儀

CS-620F 系列

磷酸濃度監測儀，無需冷卻即可實時測量高溫磷酸。

非常適合管理磷酸濃度，主要用于 3D NAND 閃存 SiN 層的蝕刻工藝*1，這是半導體制造工藝的一部分。
*1 SiN 層：在硅晶片和類似襯底上形成的由硅和氮化合物組成的薄膜。

產品名稱	化學溶液監測儀
型	CS-620F 系列
測量原理	吸收光譜法
計算原理	溫度補償型多變量分析
樣本	H3采購訂單4/小時2O
可測量范圍重復性		元件	可測量范圍（mass%）	重復性（mass%）	模擬輸出范圍（質量%）
	第 1 個解決方案	H3采購訂單4	85.00-92.00	+/-0.10	85.00-100.00
	第 1 個解決方案	H2O	8.0-15.0	+/-0.3	0.0-15.0
	? 重復性由平均值（1 小時）的最大誤差定義。 ? 使用相同化學品進行低溫測量（140°C）和高溫測量（170°C）時，可能會有差異（最大 +/- 0.30%）。
測量條件	1）測量間隔：約 3 秒（最小） 2）移動平均：16 次
連接配件尺寸	1 英寸或 3/4 英寸
樣品條件	樣品溫度：140 至 170°C 大氣溫度、化學溫度波動：+/- 1°C 以內（時間：1 小時）輸入壓力：0.2 MPa 或更低壓力波動：0.02 MPa 或更低流量：1 至 30 L/min
空氣（用于作和吹掃）	連接端口：4 mm 外徑快速接頭壓力：0.2 MPa ± 0.02 MPa
電源	100 至 230 V AC（單相），50/60 Hz
功耗	約 85 VA（不包括啟動時的瞬態電流）
通信	并行 I/O、RS-232C、模擬輸出
尺寸	（監視器） 200 （W） × 308 （D） × 78 （H） mm （燈單元） 200 （W） × 262 （D） × 100 （H） mm （樣品池） 240 （W） × 209 （D） × 205 （H） mm
重量	（監視器）約 3.6 kg （燈單元）約 2.8 kg （樣品池）約 3.0 kg
環境溫度	（監視器、燈單元） 20 至 30°C （光纖、樣品池） 20 至 100°C * 應避免溫度突然變化，在 +/- 1°C/1 小時內
環境濕度	（顯示器、燈單元） 40 至 70%（應無結露）
安裝傾斜角度	（顯示器、燈單元）+/-1 度以內（樣品池）請安裝，以免氣泡停留。
光纖	長度： 5 m，彎曲半徑： R150 mm