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HOBIBA堀場原廠混合噴射系統液體蒸發器
簡要描述：

HOBIBA堀場MV-2000原廠混合噴射系統液體蒸發器
HOBIBA堀場原廠混合噴射系統液體蒸發器

  • 產品型號：MV-2000
  • 廠商性質：代理商
  • 更新時間：2025-10-14
  • 訪  問  量：339

詳細介紹

HOBIBA堀場原廠混合噴射系統液體蒸發器

HOBIBA堀場原廠混合噴射系統液體蒸發器

混合噴射系統液體蒸發器

MV-2000 使用新的龍卷風流法，即使在低溫下也能實現穩定的汽化。這適用于汽化各種液體，甚至是具有挑戰性的源，例如“High-k"，一種易于熱解的液體源。

  • 使用新的旋流法在低溫下穩定蒸發

  • 更高的流速汽化（添加穩定性數據）

  • 可以汽化容易熱解的液體源

 
型MV-2000 系列
液體材料除對不銹鋼有腐蝕性的液體（例如 HCl、HF）外的所有液體
設定溫度按汽化條件（控制閥 ： 最高 140 °C 汽化器 ： 最高 200 °C）
泄漏完整性≤ 1 × 10-8 Pa·m3 /s （He）
內部泄漏標準≤ 1 × 10-6 Pa·m3 /s （He）
接液部件SUS316L 、 PFA
溫度傳感器K 型熱電偶 （CA）
耐壓性1MPa（克）
標準接頭液體入口：1/8 VCR 型 外螺紋 載氣入口：1/4 VCR 型 內螺紋 氣體出口：1/2 VCR 型 外螺紋
工作溫度15 - 50 °C
選擇空氣閥（內漏標準：≤ 1×10-9 Pa·m3 / s（He））
可滾動

  • 產生的流量可能因液體材料、生成量、生成條件等而異


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